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表面測定装置
ドイツの本社を置くFRT社の表面測定装置は、今日では幅広い分野でニーズが高まっています。最大の特徴であるマルチセンサーシステムにより、様々な測定を1台の装置で行う事が実現する事が可能で、新製品の開発から生産における品質管理まで、多種多様な用途で使用する事が出来ます。
FRT社の表面測定装置の特徴として
- 1. 表面トポグラフィ測定
- 2. 表面粗さ測定
- 3. プロファイル測定
- 4. 膜厚測定
- 5. 光学センサーにより非接触測定
- 6. オプションでAFMの組込みが可能
- 7. マルチセンサー（複数センサー搭載）システム採用
- 8. 完全自動測定及びデータ解析ソフトウエア