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MFE

MFEは、パターン等が形成されたウェーハやフォトマスク、MEMSデバイスの製造における検査に最適です。装置内は高いクリーン度を維持しており、製造ラインにて歩留りや工程管理の為の測定が容易に行えます。こちらもマルチセンサーシステムに対応しているため、パターン等の寸法測定を行いながら、表面形状や膜厚の測定も行えます。通信に関しても、SECSⅡ / GEM インターフェイスに対応しております。

MFEの特徴として

• 完全密閉型 全自動測定装置
• クラス1の装置内クリーン度維持
• カセット to カセットハンドリング
• ウェーハアライメント機構内臓
• OCR読取り機対応（オプション）
• 200mm、もしくは300mmウェーハ対応可能