Product Information

MicroProf®100

MicroProf®100は、小型のテーブルトップ型の測定装置でありながら、4つのセンサーの取付けが可能なマルチセンサーシステムを採用しています。 その為、表面形状のみならず、膜厚測定等も1台で行う事が可能です。また、オプションで上下2つのセンサーによるTTV測定への対応も行えます。

MicroProf® 100の特徴として

• 1. 小型でテーブルトップのシンプルデザイン採用
• 2. 3D表面形状測定のみならず、膜厚測定も可能（マルチセンサーシステム）
• 3. ナノレベルでの測定への対応
• 4. 上下2つのセンサーによるTTV測定へもオプションで対応可能
• 5. モーター駆動XYステージ搭載

• 

  膜応力による
  ウェーハ形状

• 

  ホールパターン形状