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MicroProf®200

MicroProf®200は、FRT社の測定装置の中でも、最も出荷台数が多い人気機種となっています。250mm X 200mmの測定ステージは、一般的な測定対象物の多くをカバーする事が可能で、加えてマルチセンサーシステムで1台で複数のパラメーターの測定が行えます。

MicroProf® 200の特徴として

• 1. DIN-ISO及びSEMI規格に準じた測定方法を採用
• 2. 光源にはLEDライトを採用する事により、メンテナンス性を向上
• 3. 測定レートは～4KHz
• 4. マルチセンサーシステムを採用する事で、多種多様な測定へ対応
• 5. 測定エリアは250mm X 200mm
• 6. 自動化へのアップグレード可能（MHU）
• 7. 多彩なオプションのラインアップ

TTV オプション

上下に設置されたCWLセンサーは、各々が同じポイントを測定する事で、SEMI基準に準拠した方法でウェーハの厚みやTTV測定を行う事が可能となります。もちろん、厚みやTTV測定と同時に、上側のセンサーにより表面形状や粗さの測定も行えます。

MHU オプション

MicroProf® 200 は、装置の導入後にオンサイトでアップグレードが可能です。マニュアル機ののMicroProf®200へウェーハハンドリングロボットやローディングステージを設ける事で、全自動測定を実現する事が出来ます。導入時は開発用途でマニュアルで使用し、開発後は量産ラインでの品質管理用の測定装置として使用する事が可能です。

Thermo Unit オプション

測定対象物の温度による形状変化やゆがみを測定するため、FRTでは Thermo Unit をオプションで提供しています。-80℃～400℃の温度レンジを 0.05℃の高精度で温度をコントロールする事で、安定した温度変化の元で測定対象物の熱による変化を測定できます。Thermo Unit は数種類の再度を取り揃えており、簡単に装置のステージへ取り付ける事が行えます。