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MicroProf®300

MicroProf®300は、300mmウェーハを測定するステージを設けており、FRT社が提供する各種の高精度センサーにより、表面形状、粗さ、膜厚等の測定が行えます。他の MicroProf® シリーズと同様にマルチセンサーシステムに対応しており、幅広いニーズを満たすことが可能です。

MicroProf® 300の特徴として

• 1. DIN-ISO及びSEMI規格に準じた測定方法を採用
• 2. 光源にはLEDライトを採用する事により、メンテナンス性を向上
• 3. マルチセンサーシステムを採用する事で、多種多様な測定へ対応
• 4. 測定エリアは415mm X 305mm
• 5. TTVオプション対応

TTV オプション

上下に設置されたCWLセンサーは、各々が同じポイントを測定する事で、SEMI基準に準拠した方法でウェーハの厚みやTTV測定を行う事が可能となります。もちろん、厚みやTTV測定と同時に、上側のセンサーにより表面形状や粗さの測定も行えます。

Thermo Unit オプション

測定対象物の温度による形状変化やゆがみを測定するため、FRTでは Thermo Unit をオプションで提供しています。-80℃～400℃の温度レンジを 0.05℃の高精度で温度をコントロールする事で、安定した温度変化の元で測定対象物の熱による変化を測定できます。Thermo Unit は数種類の再度を取り揃えており、簡単に装置のステージへ取り付ける事が行えます。